HORIBA堀場(chǎng) 化學(xué)藥液濃度計(jì)CS-151F1
特點(diǎn)
使用在線(xiàn)樣品單元實(shí)時(shí)跟進(jìn)濃度信息 使用直接連接清洗系統(tǒng)主管路的在線(xiàn)樣品單元實(shí)時(shí)檢測(cè)濃度。 多達(dá)四種藥液的多重檢測(cè) 每臺(tái)濃度計(jì)可測(cè)量多達(dá)四種化學(xué)藥液或濃度范圍。用戶(hù)可單次檢測(cè)多種化學(xué)藥液的濃度(或不同配比的化學(xué)藥液),如單槽或單晶圓清洗系統(tǒng)。 更高精度的樣品單元類(lèi)型 為保證穩(wěn)定性,還提供一種樣品單元類(lèi)型,支持使用濃度計(jì)輸出信號(hào)反饋進(jìn)行控制。該濃度計(jì)還支持將化學(xué)藥液濃度保持在可接受的范圍內(nèi),并消除不必要的化學(xué)藥液變化。 電氣單元和測(cè)量單元完全分離,**安裝 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
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